技术编号:3276977
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空镀膜设备领域,尤其是涉及通过电子束蒸发镀膜的一种用于真空镀膜膜厚测试的支架。背景技术在真空镀膜领域,为了形成一定厚度规格的镀层薄膜,在批量镀膜之前,需要通过对镀膜的膜厚测试来对真空镀膜工艺参数进行测试调整,为此,必须使用镀膜测试样品进行测试薄膜样品制作,并且测量镀膜测试样品的实际膜厚,进而调整镀膜工艺。特别是在等离子电视机适用的等离子显示屏测试和制造过程中,必须对等离子显示屏的金属氧化物如氧化镁导电薄膜的膜厚进行精确测试,以调整真空镀膜设...
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