技术编号：3277790
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种镀膜腔室，特别涉及一种针对减少掉渣情况的大型磁控溅射镀膜腔室。背景技术目前市面上的大型磁控溅射镀膜腔室，在溅射室侧壁的上半部分通常采用表面经过打磨抛光处理的不锈钢挡板，由于抛光表面对溅射物吸附能力有限。溅射室内部在工作时，只有少部分溅射出的靶材被吸附在抛光的不锈钢挡板表面，吸附量并不大，大多数靶材废渣累积于下侧挡板和底板上；当溅射室停止工作后，溅射室温度会慢慢降低，被吸附于抛光表面的溅射物质，由于吸附不够牢固，极易从表面脱裂，溅落在辊道附...
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