技术编号：3279047
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例一般地涉及处理系统及其操作方法。具体地，本发明的实施例涉及处理系统中的处理室的利用，例如，用于多层堆叠沉积。具体地，本发明的实施例涉及衬底处理系统和在衬底处理系统中沉积层堆叠的方法。背景技术在大量的技术应用中，在衬底上方不同材料的层被堆叠在彼此上方。通常地，这在涂布或沉积步骤的序列中完成，其中，类似于蚀刻或结构化的其他处理步骤也可以例如在各个沉积步骤之前、之间或之后提供。例如，可以沉积具有“材料一“材料二“材料一” 顺序的多层堆叠。由于不同处...
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