基于激光刻蚀方法的阻抗式镍薄膜量热计及其制作方法技术资料下载

技术编号:3279259

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本发明属于X射线探测,尤其是涉及ー种。背景技术X射线探测器在測量X射线能量和激光产生的等离子体能量时是非常有用的エ具。如量热法X射线探测器,透视ニ极管,基于硅的探測器等现已被使用,以确定总的X射线通量或能量密度,但它们有一些缺点限制了它们的应用。例如,量热法X射线探测器没有提供时间信息;透视ニ极管由于它可变的光谱灵敏度,使光谱展宽变得困难;基于硅的探测器受无感层效应和高灵敏度要求的限制。因此,需要寻求其他更好的方法。阻抗式薄膜量热计作为ー种准确测量X射线能...
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