技术编号:3279671
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。 背景技术现有腐蚀液温度较低,导致圆片腐蚀效率比较低,若提高温度,则产生过腐蚀,合 格率又降低。发明内容本发明目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种。本发明为实现上述目的,采用如下技术方案本发明,其特征在于所述方法如下通过加热丝将腐蚀液温度控制在50 54°C,然后将圆片放入腐蚀液内腐蚀6 10分钟,最后将圆片烘干,其中,所述腐蚀液为HN03/H3P04/HAC,所述圆片为Al蒸发后的硅 片。优选地,所述承载腐蚀液的腐蚀机为旋转式铝腐蚀机。...
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