技术编号:3280333
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种抛光机部件,特别涉及一种可克服抛光中倾覆力矩的浮动抛光头,有利于提闻工件精度和表面质量。背景技术化学机械抛光加工是精密及超精密加工中常用的提高工件表面质量及工件表面平坦化的方法。承载抛光垫的水平抛光盘做旋转运动,工件被固定在抛光头夹持部的背膜上,通过平稳的铅垂压力将工件压在旋转的抛光垫上,同时做旋转运动,抛光液输送装置将含有磨粒的抛光液输送到抛光垫上,抛光液中的成分与工件发生化学反应,在工件表面形成的反应生成物由磨粒和抛光垫的机械作用去除,在...
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