技术编号:3280836
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种氧化铟系烧结体,特别涉及含有氧化铟并且含有氧化钪或者氧化铝的烧结体以及使用该烧结体的溅射靶。背景技术近年来,显示装置的发展异常显著,液晶显示装置或EL显示装置等各种显示装置被积极地导入计算机或文字处理机等的OA设备中。这些显示装置都具有用透明导电膜夹入显示元件的夹层构造。现在,在驱动这些显示装置的开关元件例如薄膜晶体管(TFT)中,占主流的是使用硅系的半导体膜的元件。这是由于硅系薄膜具有稳定性及加工性良好、并且TFT的开关速度迅速等良好的性能...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。