技术编号:3281148
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种研磨机静压下磨盘部件。背景技术研磨机是一种广泛用于1C、IT等行业研磨碳化硅、蓝宝石、压电晶体、压电陶瓷等片状零件的设备。下磨盘部件是该设备的核心部件。常见下磨盘结构原理如图3所示,主要由轴承座1、驱动轴2、支承块③、平面滚动轴承④、下磨盘5等组成。下磨盘5与驱动轴2连为一体;平面滚动轴承④安装于支承块③上,与轴承座I相连为一体;下磨盘5工作时,工件7装置于下磨盘5上面,上磨盘6施压于工件7上面,当动力驱动下磨盘5旋转时,使下磨盘5、工件7、...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。