技术编号:3281205
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及纳米尺寸的α-氧化铝颗粒及其制备方法,更具体地涉及平均粒度小于约100纳米的纳米尺寸α-氧化铝颗粒。本发明还涉及包含本发明α-氧化铝颗粒的化学机械抛光组合物(CMP)和使用该组合物的CMP抛光方法。背景技术超细氧化铝(矾土)粉末是各种工业中最广泛使用的陶瓷材料之一。细氧化铝粉末的应用包括用作抛光半导体和精密光学元件的磨料,包括汽车催化转化器中载体结构的催化剂载体,聚合物过滤器和油漆颜料等。氧化铝具有十二(12)种不同的晶相,每一个晶相具有不同的晶...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。