技术编号：32815752
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及玻璃掩膜版安装技术领域，尤其涉及一种高精度掩膜对位系统。背景技术.现有机型为手动调节对位系统，不方便调节，产品精度的一致性无法保证，生产效率低，人工成本高。现有机型为水平布置调节对位装置，由于水平安装玻璃掩膜版，掩膜版因自身重力影响，发生一定的形变，导致手动对位精度受到影响，产品的精度良率也会降低。随着产品精度不断的提高，需要自动化程度和精度更高的自动对位系统。发明内容.本实用新型提供了一种高精度掩膜对位系统，解决了现有技术中水平布置的手动调节的对位装置对位精度低的问题。...
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