技术编号:3281642
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,属于材料表面加工。背景技术现代工业技术的飞速发展,对关键结构的金属零部件、工具、模具的力学性能提出了越来越高的要求,利用薄膜沉积对关键金属零部件表面改性已经成为提高零件寿命的重要手段。某些零部件苛刻的服役条件要求零件表面必须具备高的硬度、耐磨性、耐热性、韧性以及强度。氮化物、氧化物、碳化物等陶瓷薄膜具有高硬度及高的耐磨性,因此在金属零部件表面沉积或涂覆氮化物、氧化物、碳化物等陶瓷薄膜可以提高机械零件耐磨性及寿命。但是,这些硬质陶瓷薄膜的内应力大...
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