技术编号:3281960
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种OLED玻璃基板蒸镀机。背景技术如图1所示,现有的OLED玻璃基板蒸镀机都采用点蒸发源的方式,而且大部分是采用两个点蒸发源。第一点蒸发源2和第二点蒸发源3设置在玻璃基板4下方,且在对称设置在玻璃基板4的几何中心的两侧,在玻璃基板4与点蒸发源之间设置有主挡板I。蒸镀前主挡板I处于关闭状态,工作时,将需要蒸镀的材料放入点蒸发源中,并加热;玻璃基板4在水平方向上以自身的几何中心为中心旋转,当蒸汽的喷射速度达到设定值时,打开主挡板1,使蒸发出来的...
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