技术编号：3282766
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。钨钼平面靶材放置架本实用新型属于钨钥制品，具体涉及一种钨钥平面靶材放置架。背景技术溅射靶材主要用于平面显示器、薄膜太阳能电池的电极和配线材料以及半导体的阻挡层材料。这些是基于钨、钥的高熔点、高电导率、较低的比阻抗、较好的耐腐蚀性以及良好的环保性能。以前，平面显示器的配线材料主要是铬，但随着平面显示器的大型化和高精度化，越来越需要比阻抗小的材料。另外，环保也是必须考虑的问题。而钥具有比阻抗和膜应力仅为铬的I / 2的优势，而且不存在环境污染问题，因此成为了平...
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