技术编号:3282807
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置。背景技术大面积连续溅射镀膜技术的应用主要有以下几个方面其一为大面积金属膜的应用,主要应用在大面积的幕墙装饰领域、大面积平板显示领域和半导体领域,其工作的性质是利用金属膜的金属分光特性、金属反射特性和金属导电特性;其二为大面积光电薄膜的应用,主要应用在大面积建筑领域、汽车领域、太阳能和平板显示领域,如大面积低辐射膜,电致变色膜和大面积透明导电膜;其三为大面积光学薄膜的应用,目前主要应用在太阳能领域,如大...
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