技术编号:3282873
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及制造纳米薄膜的,特别涉及一种制备纳米薄膜的化学气相沉积设备。背景技术石墨烯是一种二维晶体,是由碳原子按六边形晶格整齐排布而成的碳单质,碳原子紧密堆积成单层二维蜂窝状晶格结构的一种碳质新材料。厚度仅为0.37nm。它是由英国科学家安德烈.海姆和康斯坦丁.诺沃肖洛夫于2004年发现的。石墨烯具有一些独特的特性,如石墨烯是已知材料中最薄的一种,它基本上是透明的,而且有极好的导电性,石墨烯是零带隙半导体,具备独特的载流子特性。石墨烯结构非常稳定、非常...
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