技术编号:32835928
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。vcsel芯片及其制备方法技术领域.本申请涉及半导体激光器领域,更为具体地涉及vcsel芯片及其制备方法。背景技术.vcsel(vertical-cavity surface-emitting laser,垂直腔面发射激光器) 是指在衬底的垂直方向上形成谐振腔,沿垂直方向出射激光的一种半导体激光器。随着vcsel技术的发展,vcsel激光器被广泛应用于智慧交通、健康医疗、生物检测和军事安防等领域。.在实际产业中,vcsel激光器常作为投射光源来对被测目标进行深度测量以进行三维建模,深度测绘...
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