技术编号:3283613
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于有蜡抛光的晶片保持装置,更确切地说涉及一种蓝宝石晶片有蜡抛光领域中的固定装置。属于无机非金属材料晶片加工领域。背景技术随着传统能源的不断减少,人们将目光更多地聚焦到了节能上。以氮化镓(GaN)材料制成的发光二极管具有高亮度、低能耗等特点,近来越来越多引起人们的关注。但是目前,作为氮化镓外延的基片材料——蓝宝石(Al2O3),由于其硬度高脆性大,机械加工尤为困难。而且随着现代技术的进步,市场对蓝宝石衬底基片的弯曲度、翘曲度、表面平整度等...
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