技术编号:32839579
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于半导体工艺技术领域,特别是一种单晶压电薄膜体声波谐振器的制备方法。背景技术.射频滤波器是作为射频前端的核心器件,在移动通讯、物联网等领域有非常广阔的应用。目前主流的射频滤波器有声表面波和体表面波两种类型,其中体表面波滤波器适用于频率较高的场景,随着以g为代表的高频通信的普及,体表面波滤波器的需求更为迫切。.为了具有更大的带外抑制、更大的带宽和更好的插入损耗等更优异的器件性能,基于单晶aln薄膜的谐振器构造成为业界重点攻关的方向。但是单晶aln滤波器和谐振器的相关制备技术还不够...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。