技术编号:3284737
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种基片装载装置,包括基片上料组件,包括分别放置有基片的至少两个料盒;平行地水平设置且沿传输方向同步运动的至少三条传送带;上料台,上料台与至少三条传送带的第二端对应设置;限位组件,所述限位组件设在上料台的第二端上以同步停止至少三条传送带;和取片机械手;载片装置,所述载片装置包括升起气缸和设在升起气缸上方的至少两个托盘,其中取片机械手将取到的至少两个基片一一对应地放置到至少两个托盘上;与上料台并列设置的载板;以及设在载板和载片装置之间的上料机械手...
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