技术编号:3285629
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种磁控溅射镀膜用磁钢检测装置,属于磁控溅射镀膜。包括有无磁型材框架、磁钢托架A、磁钢托架B、仪器测量台、磁场测试器,所述磁钢托架A、磁钢托架B分别固定在无磁型材框架的两侧,其上配装有磁钢,仪器测量台包括有滑块、连接板,在无磁型材框架的一侧设置有滑道,其内配置有滑块,滑道的一侧或两侧设置有刻度B,所述连接板上设置有一水平部和一垂直部,连接板上的水平部固定在滑块的上表面,其上配装有一呈指针状的指示片,垂直部上设置有托板,其上设置有磁场测试器。本发明...
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