技术编号:3285700
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及镀膜装置,尤其涉及用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具。本发明采取如下技术方案包含一个以上的相邻分布的铝板,所述铝板两面的下方各自有一组高度相同的固定滚轮。所述一组以上的铝板之间距离相同。采用如上技术方案的本发明,具有如下有益效果待镀膜的单面导电玻璃通过固定滚轮滚进去,固定即稳定,保证多组导电玻璃放置的一致性,保证非晶硅薄膜厚度的均一性,同时节省操作时间,提高产品质量。专利说明用于非晶硅薄膜均匀镀膜的沉积夹具[0001]本发明涉及镀膜装置,尤其涉及用...
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