技术编号:3286062
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的酸性化学机械抛光液,含有研磨颗粒,水,氧化剂,含银离子化合物,抛光促进剂以及溶解在抛光液中的银螯合物,其中,所述抛光液还含有水溶性表面加工润滑剂。该抛光液可用于抛光存储器硬盘,能够在对存储器硬盘基片进行经抛光的过程中防止形成微凸起、微凹坑和其它表面缺陷,抛光速率不低。专利说明一种酸性化学机械抛光液[0001]本发明涉及一种化学机械抛光液,更具体地说,涉及一种酸性的化学机械抛光液。背景技术[0002]硬盘作为计算机数据存储的主要部件,其磁存储密度不断...
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