技术编号:3286073
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金属有机化学气相沉积装置。所述金属有机化学气相沉积装置包括反应腔、传输腔,传输装置,所述反应腔上部具有喷淋组件,所述反应腔下部设置有加热器,所述喷淋组件和所述加热器之间设置有承载部件,用以承载基片,所述反应腔还具有致动装置,所述致动装置驱动所述承载部件,所述承载部件包括上层承载部件与下层承载部件,所述上层承载部件与下层承载部件之间具有缓冲间隙,所述下层承载部件被所述加热器以非接触加热方式加热,且所述上层承载部件被所述下层承载部件以非接触传热方...
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