技术编号:3286679
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种耐腐蚀的气体喷淋头及其制造方法,通过将传统的气体喷淋头的气体通孔设置为直径不同的两段,在不影响气体流速的前提下提高了涂层进入气体通孔的深度,同时,采用对分别气体喷淋头上下表面涂覆陶瓷涂层,使得气体通孔的内表面可以完全涂覆防腐蚀的陶瓷涂层,保护气体通孔的侧壁不受携能粒子的轰击,延长了气体喷淋头的使用寿命。专利说明[0001]本发明涉及等离子体处理部件,特别地,涉及一种耐腐蚀的等离子体处理部件。背景技术[0002]在等离子处理腔室中,气体喷淋头...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。