技术编号:3286989
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种板状体的研磨方法,具有平面度测定工序,测定板状体的被研磨面的平面度;和研磨工序,研磨测定了平面度的上述板状体的被研磨面,在该研磨工序中,在相对推压上述板状体的被研磨面和研磨工具的同时使上述板状体的被研磨面和上述研磨工具相对旋转,而通过上述研磨工具研磨上述板状体的被研磨面,根据在上述平面度测定工序中所测定的上述板状体的被研磨面的平面度,变更上述研磨工序的研磨条件。专利说明板状体的研磨方法及板状体的研磨装置[0001]本发明涉及一种板状体的研磨方...
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