技术编号：3287090
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。公开了一种等离子体增强式化学气相沉积设备，其包括室，其中执行等离子体反应以将功能膜设置到接纳在其中的物体；托台，与物体机械连接和电连接；运送机，将所述托台从所述室外运送到室内；以及电源，向所述托台供电，所述电源包括当运送所述托台时远离所述托台并当所述托台停止时与所述托台接触的移动触点。专利说明[0001]本实施例可涉及等离子体增强式化学气相沉积设备，并更具体地涉及一种提供具有耐腐蚀性、亲水性和抗菌功能的功能膜的设备和该设备的控制方法。[0002]具体地，本...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。