技术编号：3287092
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。公开一种等离子体增强式化学气相沉积设备，其包括将物体装载在托台上的装载站；通过对托台上装载的物体执行等离子体反应而形成功能膜的操作站；将物体从托台移走的卸载站；将托台从卸载站运送到装载站的循环站；以及将托台按顺序运送到各个站以使托台循环的运送机。专利说明[0001]本发明的实施例涉及等离子体增强式化学气相沉积设备，并更具体地涉及一种提供具有耐腐蚀性、亲水性和抗菌功能的功能膜的设备和该设备的控制方法。[0002]具体地，本发明的实施例涉及等离子体增强式化学气...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。