技术编号:3287105
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种基板处理装置,用于以电浆处理基板,包括容器,包括形成处理所述基板的处理空间的第一容器部件,以及第二容器部件,第二容器部件形成其中生成电浆的电浆生成空间,并且在第二容器部件安装在第一容器部件上的状态下,所述电浆生成空间与所述处理空间连通;气体导入单元,用于将气体导入到所述容器中;电浆生成单元,包括天线,该天线设置在所述容器的外部空间中并且被配置为使用由馈送自电源的高频电压生成的电场来激发所述电浆生成空间中的所述气体;以及基板保持单元,其能够在所述处理空间...
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