技术编号:3287743
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明可正确调整载气与原料气体的混合气体内的原料浓度,而且可在高精度的流量控制下向处理室稳定供料,与此同时可不使用昂贵的浓度计等而简单、高精度地检测混合气体内的原料气体蒸气浓度,实时显示。本发明提供通过质量流量控制器3向来源罐5内供给载气GK,由来源罐5内释放载气GK,与此同时将通过恒温部使来源罐5保持恒定温度而产生的原料4的饱和蒸气G与上述载气GK的混合气体GS供给至处理室的原料气化供给装置,其中,在来自于上述来源罐5的混合气体GS的流出通路上设置自动压...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。