技术编号：3287761
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种等离子体产生装置，在该等离子体产生装置中，即使将原料气体供给到配置有电极单元的框体内，也不会产生在框体内配设的电供给部或电极面发生腐蚀、在电极单元的放电部以外的框体内部处沉积金属这样的问题。而且，本发明所涉及的等离子体产生装置(100)具备电极单元和围绕该电极单元的框体(16)。电极单元具有第一电极(3)、隔着放电空间(6)而与第一电极(3)面对面的第二电极(1)、及配置于各电极(1、3)的主表面的电介质(2a、2b)。此外，等离子体产生装置...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。