技术编号:3287860
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于同时运输待在真空处理装置(11)中处理的至少两个基质(28)的运输装置,其带有关于共同的轴线(1)可旋转地支承的且彼此轴向错位地布置的至少两个支承装置(12,14),在其处分别布置有构造用于容纳至少一个基质(28)的至少一个保持框架(20,22,24,26),其中,保持框架(20,22,24,26)通过支承装置(12,14)围绕轴线(1)的旋转运动可带到处理单元(50)的彼此相对而置的作用区域中,并且其中,支承装置(12,14)彼此间具有...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。