透明导电性薄膜的制作方法技术资料下载

技术编号:3287881

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本发明的目的在于提供一种透明导电性薄膜,其具有低电阻且耐湿热性良好,并且通过将导电膜的膜厚抑制在一定厚度以下而使图案结构不明显。所述透明导电性薄膜,其以塑料薄膜为基材,包含透明导电性薄膜层而构成,其满足(1)~(4)的全部条件。(1)透明导电性薄膜层是含有5.5质量%以上、8质量%以下的氧化锡的晶体材料的铟-锡复合氧化物;(2)透明导电性薄膜层的膜厚在20nm以上、31nm以下;(3)透明导电性薄膜的表面电阻值在110Ω/□以下(4)在85℃、85%RH下...
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