技术编号：3288672
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种40Cr钢抗植物磨料磨损表面强化工艺，它包括调质、渗氮、抛光和镀膜等工序。以纯Ti靶(99.99％)作为溅射材料，采用中频磁控溅射设备制备TirN薄膜，薄膜与基体材料间沉积200nm左右的Ti层作为过渡层。在沉积TiN薄膜的过程中，通入Ar、N2混合气进行反应溅射沉积。该工艺通过调质预处理获得较高的基体硬度，提高了TiN薄膜的承载能力，通过渗氮以及沉积Ti过渡层，显著增强了TiN薄膜与40Cr基体的结合强度，大幅度提高了TiN薄膜的使用寿命。...
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