技术编号：3288882
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于一种真空镀膜设备的真空度量测装置，包含有一真空计及一开关阀，开关阀安装于真空镀膜设备的一真空腔体且与真空计连接在一起，当开关阀开启时，真空腔体与真空计之间相互连通，使真空计能藉由量测气体的物理性质而换算出真空腔体内的真空度，当开关阀关闭时，真空腔体内与真空计之间互不相通，使真空计能够减少接触到化学腐蚀气体的机会，以达到延长维修周期及使用寿命的目的，同时便于维修操作。专利说明真空镀膜设备的真空度量测装置[0001 ] 本发明与真空镀膜设备有关，特...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。