技术编号：3288885
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明有关于一种用于镀膜制程的气体释出装置，包含有由下而上依序堆叠的一下板、一第二中间板、一第一中间板，以及一上板，上板具有一进气孔，下板具有多数排气孔，上板与第一中间板之间藉由一分配槽及一顶面凹槽而连通、第一中间板与第二中间板之间藉由至少二顶面凹槽、至少二底面凹槽，以及至少二分配孔而连通，第二中间板与下板之间藉由至少四顶面凹槽、至少四底面凹槽，以及至少四分配孔而连通，藉此，当蒸镀源的气体进入进气孔之后可以从各排气孔释出大致相同的气体量，以提高薄膜厚度的均...
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