技术编号：3289075
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种MOCVD设备的互锁控制方法，包括如下步骤步骤1初始化步骤；控制器预设有每个互锁的逻辑IO地址，建立设备控制系统中所有互锁的逻辑IO地址和硬件IO模块的实际地址的对应关系；步骤2上位机接收对MOCVD设备的设备参数修改指令，判断设备参数修改指令对应的设备参数修改值是否设置互锁；步骤3控制器根据设备参数修改值对应的修改条件是否满足，设置条件检测结果；步骤4上位机监测条件检测结果，当监测到设备参数修改值对应的修改条件不满足时，触发设备参数修改值的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。