技术编号:3289126
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种单点线性蒸发源系统,包括本体、蒸发器和两块导向板。本体与基板相隔一定距离设置,本体包括长条形腔室,该本体的朝向基板的一面设有多个连通腔室的喷嘴,用于向基板喷射蒸镀气体。蒸发器具有开口部,该开口部连通于腔室,该蒸发器用于蒸发放置于其中的蒸镀材料。两块导向板倾斜设置于腔室内两端部,导向板的周侧与本体密封连接,并且两块导向板之间的距离在靠近蒸发器的一端小于靠近基板的一端。本发明能有效改善本体腔室内蒸气压力平衡性,并由此可提高蒸镀到基板上薄膜的均匀...
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