技术编号：3289214
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了，用于减少炉管内与炉管内腔连通的部件表面上的薄膜脱落形成的颗粒物质，通过N2带走炉管内残留的颗粒物质，并且可以通过向炉管内通入Si2H6气体使得炉管内与炉管内腔连通的部件表面淀积一层止封膜，使得炉管内尚未脱落完全的薄膜及未被N2带走的颗粒物质封住，进而可以显著降低炉管内颗粒物质的含量，使得炉管内薄膜需要进行停机维护的膜厚从50μm增长到了100μm，从而显著降低了炉管进行停机维护PM的频率，减少了炉管内部件的更换频率，极大的降低PM的成本，因为...
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