大面积碘化铅厚膜的制备方法及其实施设备的制作方法技术资料下载

技术编号:3289417

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本发明公开了一种大面积碘化铅厚膜的制备方法及其实施设备,其主要内容为在设备真空腔体内,原料高纯碘化铅粉末平铺在原料承载体石墨板片上,原料承载体石墨板片放置在平板加热器上,下方安置有衬底的定向散热板块用石英块支撑在原料上方,在真空度为10-1Pa~10-5Pa的环境下,开启平板加热器对原料加热使之升温气化,原料气在温度较低的衬底凝结沉积,形成致密的碘化铅多晶膜。采用本发明可以在衬底上制备出厚度在50到1000微米,面积5×5cm2至50×50cm2,具有厚度...
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