技术编号:3289570
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种化学气相中沉积衬底温度的控制方法,所述控制方法用于对稳定时间段的所述衬底温度进行控制,在所述稳定时间段内所述衬底温度处于相对稳定状态且其波动幅度不超过一允许温度值T,所述控制方法包括在所述时间段内,调节加热单元的温度在初始时刻t得到一稳定值Tspl,同时获得一个所述衬底温度的初始测量值Tsl,在改变反应条件后,获得所述衬底温度在下一时刻t+At的新测量值Ts2,并由所述Tsl,所述Ts2和所述Tspl计算得到所述下一时刻的所述稳定值Tsp2。...
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