技术编号:3291230
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。所公开的是一种选择性线性蒸发设备,该设备包括多个线性蒸发器、角度限制板、遮挡构件以及驱动器。所述多个线性蒸发器分别朝向基片蒸发不同的原材料,并且沿着基片的传输方向间隔开。该角度限制板朝向线性蒸发器的上侧以预定高度安装在线性蒸发器的相对侧处并且限制了从线性蒸发器蒸发的原材料的扩散角度。该遮挡构件安装在线性蒸发器的上方以及角度限制板之间,并且包括使线性蒸发器向外侧打开的打开部以及使线性蒸发器从外侧关闭的关闭部。该驱动器驱动遮挡构件以在原材料从线性蒸发器蒸发时将...
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