技术编号：3291232
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种，包括被配置成其中包括至少一个待涂覆的衬底和与蒸发源相连接的至少一个散布喷嘴的腔室。该腔室具有限定可调的孔的至少一个可调屏蔽件。该屏蔽件设置在散布喷嘴和衬底所在位置之间。孔在由面积、形状和方向所构成的组中的至少一个方面上是可调的。至少一个可调屏蔽件具有加热器。专利说明 [0001]本发明涉及蒸发装置以及沉积薄膜的方法。 背景技术 [0002]光伏电池或太阳能电池是由阳光直接产生电流的光伏部件。由于对清洁能源的需求的增长，近些年来太...
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