技术编号：3291703
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了，具体步骤为（1）将纯度≥99.9%的钽原料加入到高温蒸发器中；（2）向反应系统内充入氮气，使反应系统内的气氛为惰性并且反应系统内部气体压力为75～150kPa；（3）向高温蒸发器中充入高频等离子气，使钽原料加热到沸腾状态形成钽蒸气；（4）在高温蒸发器内形成钽蒸气的同时，向高温蒸发器内加入钽原料；（5）在粒子控制器中钽蒸气经不断地碰撞、融合、固化形成钽颗粒，所述钽颗粒的粒径为10～3000nm；（6）钽颗粒在收集器内的气固分离器外壁进行附着，然...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。