技术编号:3291797
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学,涉及一种在玻璃衬底上利用特定波长的光促进硅薄膜 结晶的方法。背景技术在玻璃衬底上制备薄膜是光电产业、半导体材料领域经常应用的技术方向,玻璃 具有优良的透光性,成本低廉,具有一定的强度,可以耐一定的高温,并且是一种建筑材料, 在廉价的玻璃衬底上制备优质薄膜极具商业价值。人们通过常规电阻丝加热、卤钨灯加热 和激光扫描等方法再晶化做结晶薄膜。按处理温度的高低划分,目前分为三类低温工艺、 中温工艺和高温工艺。一般来说,高温工艺容易制备出大颗粒的硅薄...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。