技术编号:3291881
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种掺氟类金刚石薄膜、其制备方法以及包含该薄膜的压印模板,该薄膜沉积在基体表面上,薄膜中氟的质量含量为1%~4%;薄膜厚度为1~10nm。本发明公开的薄膜具有类金刚石薄膜的优点,同时具有优异的疏水、防粘性能以及与基体较好的粘接性,保护基体上结构的整体性并提高了基体的重复使用率;并且制备工艺简易、成本低,可应用于纳米压印模板的防粘处理。专利说明掺氟类金刚石薄膜、其制备方法及包含该薄膜的压印模板[0001]本发明属于纳米加工,具体涉及一种掺氟类金刚...
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