磨削装置制造方法技术资料下载

技术编号:3293169

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本发明提供一种磨削装置,在使高度计的测量件与板状工件接触来进行板状工件的厚度测量的磨削装置中,防止磨粒侵入测量件与板状工件之间而与磨削条件无关。磨削装置具有保护高度计(5)的测量件(52)的测量件保护部(6),测量件保护部(6)具有具有使测量件(52)通过的通过孔的配液板(56),在配液板(56)中具有在下表面开口的放液口(58),通过从放液口(58)放出清洗液,通过清洗液(7)围绕测量件(52)的周围,清洗液(7)能够阻止磨粒等附着物与磨削液一起流向测量...
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