技术编号：3293567
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种移动式细胞格磁控溅镀靶。该磁控溅镀靶包含一靶材，其贴附于一铜底板上，所述靶材连接一负电压；一驱动装置；一细胞格磁控装置，其固定于所述铜底板，包含一基板、一细胞格状磁盘、多个磁条，所述细胞格状磁盘及所述多个磁条由外而内固定于所述基板上，所述基板由所述驱动装置所驱动，而以一预定速率，作预定平面轨迹的运动，其中，所述细胞格状磁盘由相接的磁条所构成，并以相同的第一磁极面向所述靶材，所述细胞格状磁盘的空间内，每一细胞格包含一磁条，以第二磁极面向所述靶...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。