技术编号:3294487
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明所述的自适应磁场调整型磁控溅射镀膜设备,相邻所述永磁铁之间设置有通电线圈,在所述通电线圈和所述磁轭之间设置有霍尔传感器,所述通电线圈的长度方向与所述永磁铁磁极方向垂直;所述霍尔传感器外接磁场强度侦测系统,用于磁场强度的实时监测;所述通电线圈外接电路控制模块,所述电路控制模块与所述磁场强度侦测系统电连接,根据所述磁场强度侦测系统的数据调整流经通电线圈的电流,以改变磁场分布,使得磁场一直处于最优化的状态,即磁力线尽量与靶面处于同一平面,以达到靶材利用率最...
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