技术编号:3294574
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种基于ALD技术的复合无机-有机杂化物薄膜的制备方法,首先进行衬底或沉积载体的准备,之后将准备好的衬底或沉积载体转移入ALD反应室,使用有机分子作为有机前驱体,同时引入两种或两种以上的无机前驱体,交替将无机前驱体和有机前驱体通入ALD反应室,在衬底或沉积载体表面原位生成复合无机-有机杂化物薄膜。本发明通过在生长无机-有机杂化物薄膜的过程中,使用有机分子作为前驱体,同时引入多种无机前驱体,并调节其脉冲序列流程,原子层沉积循环次数比,可以得到成分...
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