技术编号:32949639
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于集成电路制造技术领域,具体涉及一种图像传感器及其制作方法。背景技术.图像传感器在数码静态相机、蜂窝式电话、监控摄像机以及医疗、汽车等应用中得到广泛使用。用以制造图像传感器的技术持续大幅进步,对更高分辨率及更低功耗的需求促进图像传感器的进一步微型化及高度集成。高度集成的结果是图像传感器中每个像素的尺寸减小。但是随着图像传感器的像素尺寸减小,邻近像素之间的串扰变得严重。串扰可增加白像素的数目、降低图像传感器灵敏度。常采用dti(deep trench isolation,深沟槽隔离)...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。